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晶圆外观缺陷检测机(WIM 300)(特銓)
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晶圆翘曲检测机(特銓)
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掩膜版外观缺陷检测机(特銓)
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托盘拾放分拣机(ETS 5000)(ESTEK)
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镜片分拣/检查机(ELS 3600)(ESTEK)
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晶圆外观检测机(EWS 300)(ESTEK)
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晶圆外观检测机(EWS 100)(ESTEK)
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全自动高速晶圆分拣机 (EDS 15)(ESTEK)
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CO2静电消除机(佳宸)
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载具清洗机 Carrier Cleaner(佳宸)
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公自转蚀刻机 Wet Etcher(佳宸)
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金属剥离机 Metal lift off(佳宸)
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助焊剂清洗机 Flux Cleaner(佳宸)
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电池包PACK线-2(AGV环型线)
总装线采用环型线设计(一侧AGV物料,一侧Pack装配区);
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AI精密设备

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