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晶圆外观缺陷检测机（WIM 300）(特銓)
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晶圆翘曲检测机(特銓)
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掩膜版外观缺陷检测机(特銓)
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托盘拾放分拣机（ETS 5000）(ESTEK)
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镜片分拣/检查机（ELS 3600）(ESTEK)
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晶圆外观检测机（EWS 300）(ESTEK)
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晶圆外观检测机（EWS 100）(ESTEK)
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全自动高速晶圆分拣机 (EDS 15)(ESTEK)
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CO2静电消除机（佳宸）
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载具清洗机 Carrier Cleaner（佳宸）
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公自转蚀刻机 Wet Etcher（佳宸）
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金属剥离机 Metal lift off（佳宸）
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助焊剂清洗机 Flux Cleaner（佳宸）
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